Strumenti per la misurazione della planarità
Piano interferometrico

I piani interferometrici vengono utilizzati per controllare la planarità di un substrato.
Misuratori di Planarità

Il misuratore di planarità Kemet viene utilizzato per monitorare la planarità di un piatto di lappatura e dare un'indicazione della planarità che il piatto produrrà su di un determinato pezzo.
Lampada monocromatica

Produce letture di planarità chiare quando utilizzato con i piani ottici Kemet.
Supporti piani ottici
Kemet offre luci monocromatiche che incorporano supporti da banco per contenere piani ottici di grandi dimensioni.