세라믹 척 또는 정전 척(ESC/e-Chuck) 래핑 및 표면 재마감
Kemet은 ESC의 정밀 재마감을 전문으로 하여 다양한 응용 요구 사항을 충족하는 서비스를 제공합니다. 마모 및 손상, 제조 결함 또는 새로운 척의 기하학적 구조 변경을 해결하든 Kemet의 역량은 ESC의 최적 성능과 수명을 연장합니다.
정전 척은 종종 독특한 운영 요구를 충족하기 위해 특정 표면 프로파일이 필요합니다. Kemet은 ESC 표면을 다음과 같이 재형성할 수 있습니다:
- ±1/4 마이크론의 정밀도로 평탄 프로파일.
- 1/4 마이크론에서 최대 2 마이크론까지의 오목 프로파일.
- 유사한 정밀도로 설계된 볼록 프로파일.
- 이러한 개선은 균일한 웨이퍼 접촉을 보장하고 고정밀 응용에서 처리 불일치를 최소화하는 데 이상적입니다.
ESC는 고온, 고진공 환경 및 화학 노출의 도전에 견디도록 설계된 고급 재료로 제작됩니다. Kemet은 폴리이미드, 알루미나(Al₂O₃), 사파이어, 실리콘 카바이드, 에폭시, 실리콘 나이트라이드, SiSiC(실리콘-실리콘 카바이드), 유리 및 열 스프레이 코팅을 포함한 다양한 유전체 재료를 정밀하게 처리하는 데 탁월합니다. 나노미터 수준의 정밀도로 이러한 재료를 가공 및 처리하는 능력은 Kemet의 재마감 서비스의 핵심으로, 모든 프로젝트에서 뛰어난 품질과 성능을 보장합니다.
Kemet은 고급 래핑 및 연마 기술을 사용하여 원하는 표면 마감을 달성합니다. 이러한 방법은 척의 표면을 복원할 뿐만 아니라 평탄도를 향상시키고 표면 거칠기를 줄이며 결함을 제거하여 성능을 향상시킵니다. 래핑된 표면은 높은 정밀도와 일관성을 제공하며, 연마된 마감은 표면 불규칙성이 최소화된 응용에 이상적입니다.
결함 제거 또는 약간의 형상 조정을 원하는 고객을 위해 Kemet의 최소 재료 제거 전문 기술은 ESC의 구조적 무결성을 보존합니다. 1/4 마이크론만큼 낮은 재료 제거도 성능을 저하시키지 않고 표면 결함을 효과적으로 해결할 수 있습니다.
Kemet의 재마감 및 재형성 서비스는 다양한 산업 및 응용 분야에 적용됩니다:
- 웨이퍼 처리: 섬세한 웨이퍼의 안전하고 왜곡 없는 접촉 보장.
- 검사 및 계측: 표면 정밀도를 유지하여 측정 정확도 향상.
- 디스플레이 제조: OLED 및 LCD 제작에서 박막 공정의 균일성 향상.
- 금속 증착 및 에칭: 증착 또는 에칭 균일성을 위한 기판 배치 최적화.
왜 Kemet을 선택해야 하나요?
Kemet의 수십 년간의 경험과 정밀도에 대한 헌신은 ESC 재마감 및 재형성을 위한 신뢰할 수 있는 파트너로 만듭니다. 회사의 첨단 기술과 깊은 재료 전문성은 척이 복원될 뿐만 아니라 최상의 성능을 발휘하도록 최적화되도록 보장합니다. 사용된 척을 복원하든 새로운 척을 맞춤 제작하든, Kemet은 가장 엄격한 산업 표준에 부합하는 솔루션을 제공합니다.
정전 척 이해하기
정전 척(ESC 또는 e-chucks)은 반도체 제조, 웨이퍼 처리 및 다양한 정밀 응용에서 중요한 역할을 합니다. 이러한 구성 요소는 나노미터 수준의 정확성이 요구되는 공정에서 웨이퍼, 기판 또는 박막을 안정적으로 고정하는 데 필수적입니다. 시간이 지남에 따라 또는 초기 생산 중에 이러한 척은 엄격한 성능 기준을 충족하기 위해 재마감 또는 재형성이 필요할 수 있습니다. 80년 이상의 정밀 마감 산업 경험을 보유한 Kemet은 가장 까다로운 사양을 충족하기 위해 정전 척을 복원, 재형성 및 맞춤 제작하는 최첨단 솔루션을 제공합니다.
정전 척은 물리적 고정이 필요하지 않고 정전력을 활용하여 기판을 고정합니다. 일반적으로 유전체층(절연 매체 역할)과 그 아래에 정전하 생성을 촉진하는 전도층으로 구성됩니다. 이러한 척은 다음과 같은 공정에서 널리 사용됩니다:
- 건식 에칭: 정밀한 재료 제거를 위한 안정적인 기반 제공.
- 이온 주입: 균일한 도핑 공정을 위한 웨이퍼 고정.
- 리소그래피: 정확한 이미징을 위한 평탄도 유지.
- 접합 기술: 마이크로전자 조립에서 신뢰할 수 있는 접착 촉진.
- 이와 같은 응용에서 ESC는 뛰어난 평탄도, 정밀 기하학 및 표면 무결성을 유지해야 합니다.
정전 척은 고정밀 제조에서 필수적이며, 그 성능은 표면 상태와 밀접한 관련이 있습니다. Kemet의 전문적인 재마감, 재형성 및 맞춤 제작 서비스를 통해 ESC는 현대 산업 응용의 요구를 충족하고 이를 초과합니다. 평탄도를 복원하고 결함을 해결하며 표면 프로파일을 맞춤 제작함으로써 Kemet은 이러한 중요한 구성 요소의 신뢰성과 효율성을 향상시켜 귀하의 제조 공정 성공을 지원합니다. 자세한 정보 또는 특정 ESC 재마감 요구 사항 논의를 위해 지금 Kemet에 문의하십시오.
